- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Kína Tantál-karbid bevonat Gyártó, szállító, gyár
A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.
A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.
A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:
A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.
Főbb jellemzők:
●Hőmérséklet stabilitás
●Ultra magas tisztaságú
●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si
●Hőanyaggal szembeni ellenállás
●Erős tapadás a grafithoz
●Konform bevonat lefedettség
● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)
Alkalmazások:
● Induktív fűtési szuszceptor
● Ellenállásos fűtőelem
● Hővédő pajzs
Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:
A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:
| A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
| Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
| Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
| Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
| Keménység (HK) | 2000 HK |
| Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
| Hőstabilitás | <2500 ℃ |
| A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
| Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
TaC bevonat EDX adatok：
TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:
| Elem | Atom százalék | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Átlagos | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| A M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tantál-karbid bevonat terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.
