A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.
A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.
A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:
A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.
●Hőmérséklet stabilitás
●Ultra magas tisztaságú
●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si
●Hőanyaggal szembeni ellenállás
●Erős tapadás a grafithoz
●Konform bevonat lefedettség
● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)
● Induktív fűtési szuszceptor
● Ellenállásos fűtőelem
● Hővédő pajzs
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
Elem | Atom százalék | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Átlagos | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
A M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
A VeTek Semiconductor CVD TaC bevonatgyűrűje egy rendkívül előnyös komponens, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a szilícium-karbid (SiC) kristálynövekedési folyamatok szigorú követelményeinek. A CVD TaC bevonatgyűrű kiemelkedő magas hőmérsékleti ellenállást és vegyi inertséget biztosít, így ideális választás magas hőmérséklettel és korrozív körülményekkel jellemezhető környezetekben. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron, és várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk. Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseLPE SiC Epi Halfmoon a VeTek Semiconductortól, egy forradalmi termék, amelyet az LPE reaktor SiC epitaxiás folyamatainak javítására terveztek. Ez az élvonalbeli megoldás számos kulcsfontosságú funkcióval büszkélkedhet, amelyek kiváló teljesítményt és hatékonyságot biztosítanak a gyártási műveletek során. Várjuk, hogy hosszú távú együttműködést alakítsunk ki Önnel.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a TaC bevonatok és a SiC bevonatú grafit alkatrészek vezető szállítója. A legmodernebb LED EPI szuszceptorok gyártására specializálódtunk, amelyek elengedhetetlenek a LED-epitaxiás folyamatokhoz. Nagy hangsúlyt fektetve az innovációra és a minőségre, megbízható megoldásokat kínálunk, amelyek megfelelnek a LED-ipar szigorú követelményeinek. Forduljon hozzánk még ma, hogy megvitassa kérdéseit, és megtudja, hogyan javíthatják termékeink gyártási folyamatait.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy átfogó beszállító, amely a TaC bevonatok és SiC bevonat alkatrészek kutatásában, fejlesztésében, gyártásában, tervezésében és értékesítésében vesz részt. Szakértelmünk a legmodernebb, TaC bevonattal ellátott MOCVD szuszceptor gyártásában rejlik, amelyek létfontosságú szerepet játszanak a LED-epitaxiás folyamatban. Szeretettel várjuk, hogy megvitassák velünk kérdéseiket és további információkat.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy integrált beszállító, amely a TaC bevonatok kutatásával és fejlesztésével, gyártásával, tervezésével és értékesítésével foglalkozik. Cégünk élvágó TaC bevonatú UV LED szuszceptorok gyártására specializálódott, amelyek a LED-epitaxiás folyamat kulcsfontosságú összetevői. A TaC bevonatú mély UV LED szuszceptorunk magas hővezető képességet, nagy mechanikai szilárdságot, jobb gyártási hatékonyságot és epitaxiális szeletvédelmet kínál. Üdvözöljük, hogy érdeklődjön tőlünk.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a Tantál Carbide TaC Coated Halfmoon vezető gyártója és beszállítója Kínában, a kutatás-fejlesztésre és a gyártásra szakosodtunk, jól ellenőrizhetjük a minőséget és versenyképes árat kínálunk. Üdvözöljük, látogassa meg gyárunkat, ahol további megbeszéléseket folytathat a hosszú távú együttműködésről.
Olvass továbbKérdés küldése