A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.
A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.
A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:
A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.
●Hőmérséklet stabilitás
●Ultra magas tisztaságú
●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si
●Hőanyaggal szembeni ellenállás
●Erős tapadás a grafithoz
●Konform bevonat lefedettség
● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)
● Induktív fűtési szuszceptor
● Ellenállásos fűtőelem
● Hővédő pajzs
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
Elem | Atom százalék | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Átlagos | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
A M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
A VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Plate kiváló TaC bevonattal büszkélkedhet, a kivételes TaC bevonattal a TaC Coating Rotation Plate kiemelkedő magas hőmérsékleti ellenállással és vegyi inertséggel büszkélkedhet, ami megkülönbözteti a hagyományos megoldásoktól. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron. árakat, és várja, hogy Ön hosszú távú partnere lehess Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor TaC bevonólemeze egy figyelemre méltó termék, amely kivételes tulajdonságokat és előnyöket kínál. A precízen tervezett és tökéletesre tervezett TaC bevonólemezünket kifejezetten a szilícium-karbid (SiC) egykristály-növekedési folyamatok különféle alkalmazásaihoz szabták. A TaC bevonólemez pontos méretei és robusztus felépítése megkönnyíti a meglévő rendszerekbe való integrálását, biztosítva a zökkenőmentes kompatibilitást. és hatékony működés. Megbízható teljesítménye és kiváló minőségű bevonata hozzájárul a konzisztens és egységes eredményekhez a SiC kristálynövekedési alkalmazásokban. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor által biztosított CVD TaC bevonat egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet kifejezetten az igényes alkalmazásokhoz terveztek. Fejlett jellemzőivel és kivételes teljesítményével a CVD TaC bevonatburkolatunk számos kulcsfontosságú előnyt kínál. A CVD TaC bevonatborításunk biztosítja a sikerhez szükséges védelmet és teljesítményt. Várjuk, hogy feltárjuk a lehetséges együttműködést Önnel!
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor egy kivételes termék az Aixtron epitaxia berendezésekhez. A robusztus TaC bevonat kiváló magas hőmérsékleti ellenállást és kémiai inertséget biztosít. Ez az egyedülálló kombináció megbízható teljesítményt és hosszú élettartamot biztosít még igényes környezetben is. A VeTek elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű termékeket kínáljon, és hosszú távú partnerként szolgáljon a kínai piacon versenyképes árakkal.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor TaC bevonatú talapzattartó lemeze egy nagy pontosságú termék, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a félvezető epitaxiás folyamatok speciális követelményeinek. A TaC bevonattal, a magas hőmérséklettel szembeni ellenállással és a kémiai tehetetlenséggel termékünk lehetővé teszi, hogy kiváló minőségű EPI rétegeket állítson elő kiváló minőségben. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor TaC bevonatú tokmány kiváló minőségű TaC bevonattal rendelkezik, amely kiemelkedő magas hőmérsékleti ellenállásáról és kémiai tehetetlenségéről ismert, különösen a szilícium-karbid (SiC) epitaxy (EPI) folyamatokban. Kivételes jellemzőivel és kiváló teljesítményével a TaC bevonatoló tokmányunk számos kulcsfontosságú előnyt kínál. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése