> Termékek > Tantál-karbid bevonat

Termékek

új termékek

Kína Tantál-karbid bevonat Gyártó, szállító, gyár

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.

A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.

A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:

Excellent properties of TaC coating graphite

A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.

Főbb jellemzők:

●Hőmérséklet stabilitás

●Ultra magas tisztaságú

●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

●Hőanyaggal szembeni ellenállás

●Erős tapadás a grafithoz

●Konform bevonat lefedettség

● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)

Alkalmazások:

●Ostyahordozó

● Induktív fűtési szuszceptor

● Ellenállásos fűtőelem

●Műholdas lemez

●Zuhanyfej

●Vezetőgyűrű

●LED Epi vevő

●Befecskendező fúvóka

●Maszkoló gyűrű

● Hővédő pajzs

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10^-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10^-5Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem	Atom százalék
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Átlagos
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
A M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC bevonatú tokmány TaC Coating Planetary Disk TaC bevonatú lemez TaC bevonat forgólap TaC bevonat vevő CVD TaC bevonat fedél CVD TaC bevonógyűrű TaC bevonólemez

View as

CVD TaC bevonótégely

A VeTek Semiconductor a CVD TaC Coating Crucible termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. CVD TaC Coating Crucible tantál szén (TaC) bevonaton alapul. A tantál-szénbevonatot egyenletesen borítják a tégely felületére a kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárás révén, hogy növeljék a hő- és korrózióállóságát. Ez egy anyagszerszám, amelyet kifejezetten magas hőmérsékletű extrém környezetben használnak. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

CVD TaC bevonatú ostyahordozó

Professzionális CVD TaC Coating Wafer Carrier termékgyártóként és kínai gyárként a VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier egy lapkahordozó eszköz, amelyet kifejezetten magas hőmérsékletű és korrozív környezetekhez terveztek a félvezetőgyártásban. és CVD TaC Coating Wafer Carrier nagy mechanikai szilárdsággal, kiváló korrózióállósággal és termikus stabilitással rendelkezik, ami a szükséges garanciát nyújtja a kiváló minőségű félvezető eszközök gyártásához. További kérdéseit szívesen fogadjuk.

Olvass tovább Kérdés küldése

TaC bevonatfűtő

A VeTek Semiconductor a TaC Coating Heater vezető gyártója és megújítója Kínában. Ennek a terméknek rendkívül magas olvadáspontja van (kb. 3880°C). A TaC Coating Heater magas olvadáspontja lehetővé teszi, hogy rendkívül magas hőmérsékleten működjön, különösen a gallium-nitrid (GaN) epitaxiális rétegek növekedése során a fém szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) folyamatában. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Olvass tovább Kérdés küldése

TaC bevonatú tokmány

Mint professzionális TaC bevonatú tokmány gyártó és szállító Kínában, a VeTek Semiconductor TaC bevonatoló tokmányát kifejezetten félvezető kemencékhez tervezték. A Vetek Semiconductor innovatív technológiája magas hőmérséklet-állóságával, kémiai tehetetlenségével és kiváló teljesítményével megbízható megoldást nyújt a félvezetőgyártó ipar számára a magas színvonalú gyártási szabványok biztosítására. Hiszünk abban, hogy termékeink fejlett technológiát és kiváló minőségű termékmegoldásokat kínálnak Önnek.

Olvass tovább Kérdés küldése

TaC bevonócső

Professzionális TaC bevonatcsövek gyártóként és beszállítóként Kínában, a VeTek Semiconductor TaC bevonatcsöve kulcsfontosságú eleme a szilícium-karbid egykristályok sikeres növekedésének. Magas hőmérséklet-állóságával, kémiai tehetetlenségével és kiváló teljesítményével biztosítja a kiváló minőségű kristályok előállítását egyenletes eredménnyel. Bízzon innovatív megoldásainkban a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatának javítása érdekében, és kiváló eredményeket érjen el. Üdvözöljük, érdeklődjön tőlünk.

Olvass tovább Kérdés küldése

CVD TAC bevonat

A VeTek Semiconductor a CVD TAC Coating vezető gyártója, megújítója és vezetője Kínában. Hosszú évek óta a különféle CVD TAC bevonat termékekre összpontosítunk, mint például a CVD TaC bevonatborítás, a CVD TaC bevonógyűrű, a CVD TaC bevonathordozó stb. A VeTek Semiconductor támogatja a személyre szabott termékszolgáltatásokat és a kielégítő termékárakat, és várja a továbbiakat. konzultáció.

Olvass tovább Kérdés küldése

<1 2 3 4 5...8 >

Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tantál-karbid bevonat terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.