itthon > Termékek > Tantál-karbid bevonat

Kína Tantál-karbid bevonat Gyártó, szállító, gyár

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.


A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.


A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:


Excellent properties of TaC coating graphite


A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.


Főbb jellemzők:

 ●Hőmérséklet stabilitás

 ●Ultra magas tisztaságú

 ●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

 ●Hőanyaggal szembeni ellenállás

 ●Erős tapadás a grafithoz

 ●Konform bevonat lefedettség

 Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)


Alkalmazások:

 ●Ostyahordozó

 ● Induktív fűtési szuszceptor

 ● Ellenállásos fűtőelem

 ●Műholdas lemez

 ●Zuhanyfej

 ●Vezetőgyűrű

 ●LED Epi vevő

 ●Befecskendező fúvóka

 ●Maszkoló gyűrű

 ● Hővédő pajzs


Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező 0.3
Hőtágulási együttható 6,3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1×10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
A grafit mérete megváltozik -10-20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um±10um)


TaC bevonat EDX adatok

EDX data of TaC coating


TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem Atom százalék
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Átlagos
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
A M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantál-karbid bevonatú gyűrű

Tantál-karbid bevonatú gyűrű

A Tantál Carbide Coated Ring termékek professzionális megújítója és vezetőjeként Kínában, a VeTek félvezető tantál-karbid bevonatú gyűrű kiváló magas hőmérséklet-állóságával, kopásállóságával és kiváló hővezető képességével pótolhatatlan szerepet játszik a SiC kristályok növekedésében. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass továbbKérdés küldése
Porózus tantál-karbid

Porózus tantál-karbid

A VeTek Semiconductor a porózus tantál-karbid termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. A porózus tantál-karbidot általában kémiai gőzleválasztásos (CVD) módszerrel állítják elő, biztosítva a pórusméret és -eloszlás pontos szabályozását, és a magas hőmérsékletű szélsőséges környezetek számára készült anyageszköz. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass továbbKérdés küldése
Tantál-karbid gyűrű

Tantál-karbid gyűrű

A Tantál Carbide Ring termékek fejlett gyártója és gyártója Kínában, a VeTek Semiconductor tantál Carbide Ring rendkívül nagy keménységgel, kopásállósággal, magas hőmérséklettel szembeni ellenállással és kémiai stabilitással rendelkezik, és széles körben használják a félvezetőgyártás területén. Különösen a CVD, a PVD, az ionimplantációs folyamat, a maratási eljárás, valamint az ostyafeldolgozás és -szállítás terén nélkülözhetetlen termék a félvezető-feldolgozásban és -gyártásban. Várom további konzultációját.

Olvass továbbKérdés küldése
Tantál-karbid bevonat támogatása

Tantál-karbid bevonat támogatása

Professzionális tantál-karbid bevonattartó termékgyártóként és kínai gyárként a VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support-ot általában félvezető berendezések szerkezeti vagy tartóelemeinek felületi bevonására használják, különösen a félvezető-gyártási folyamatok kulcsfontosságú berendezés-alkatrészeinek felületvédelmére, mint pl. CVD és PVD. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass továbbKérdés küldése
Tantál-karbid vezetőgyűrű

Tantál-karbid vezetőgyűrű

A VeTek Semiconductor a tantál-karbid vezetőgyűrűs termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. Tantál-karbid (TaC) vezetőgyűrűnk egy nagy teljesítményű tantál-karbidból készült gyűrűalkatrész, amelyet általában félvezető-feldolgozó berendezésekben használnak, különösen magas hőmérsékletű és erősen korrozív környezetekben, mint például CVD, PVD, maratás és diffúzió. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára, és üdvözli további megkereséseit.

Olvass továbbKérdés küldése
TaC bevonat rotációs szuszceptor

TaC bevonat rotációs szuszceptor

A TaC Coating Rotation Susceptor termékek professzionális gyártója, megújítója és vezetője Kínában. A VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor rendszerint kémiai gőzleválasztásos (CVD) és molekuláris sugár-epitaxiás (MBE) berendezésekben van beépítve az ostyák támogatására és forgatására az egyenletes anyaglerakódás és a hatékony reakció biztosítása érdekében. A félvezető feldolgozás kulcsfontosságú eleme. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass továbbKérdés küldése
Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tantál-karbid bevonat terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept