A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.
A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.
A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:
A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.
●Hőmérséklet stabilitás
●Ultra magas tisztaságú
●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si
●Hőanyaggal szembeni ellenállás
●Erős tapadás a grafithoz
●Konform bevonat lefedettség
● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)
● Induktív fűtési szuszceptor
● Ellenállásos fűtőelem
● Hővédő pajzs
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
Elem | Atom százalék | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Átlagos | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
A M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
A Tantál Carbide Coated Ring termékek professzionális megújítója és vezetőjeként Kínában, a VeTek félvezető tantál-karbid bevonatú gyűrű kiváló magas hőmérséklet-állóságával, kopásállóságával és kiváló hővezető képességével pótolhatatlan szerepet játszik a SiC kristályok növekedésében. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a porózus tantál-karbid termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. A porózus tantál-karbidot általában kémiai gőzleválasztásos (CVD) módszerrel állítják elő, biztosítva a pórusméret és -eloszlás pontos szabályozását, és a magas hőmérsékletű szélsőséges környezetek számára készült anyageszköz. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldéseA Tantál Carbide Ring termékek fejlett gyártója és gyártója Kínában, a VeTek Semiconductor tantál Carbide Ring rendkívül nagy keménységgel, kopásállósággal, magas hőmérséklettel szembeni ellenállással és kémiai stabilitással rendelkezik, és széles körben használják a félvezetőgyártás területén. Különösen a CVD, a PVD, az ionimplantációs folyamat, a maratási eljárás, valamint az ostyafeldolgozás és -szállítás terén nélkülözhetetlen termék a félvezető-feldolgozásban és -gyártásban. Várom további konzultációját.
Olvass továbbKérdés küldéseProfesszionális tantál-karbid bevonattartó termékgyártóként és kínai gyárként a VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support-ot általában félvezető berendezések szerkezeti vagy tartóelemeinek felületi bevonására használják, különösen a félvezető-gyártási folyamatok kulcsfontosságú berendezés-alkatrészeinek felületvédelmére, mint pl. CVD és PVD. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a tantál-karbid vezetőgyűrűs termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. Tantál-karbid (TaC) vezetőgyűrűnk egy nagy teljesítményű tantál-karbidból készült gyűrűalkatrész, amelyet általában félvezető-feldolgozó berendezésekben használnak, különösen magas hőmérsékletű és erősen korrozív környezetekben, mint például CVD, PVD, maratás és diffúzió. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára, és üdvözli további megkereséseit.
Olvass továbbKérdés küldéseA TaC Coating Rotation Susceptor termékek professzionális gyártója, megújítója és vezetője Kínában. A VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor rendszerint kémiai gőzleválasztásos (CVD) és molekuláris sugár-epitaxiás (MBE) berendezésekben van beépítve az ostyák támogatására és forgatására az egyenletes anyaglerakódás és a hatékony reakció biztosítása érdekében. A félvezető feldolgozás kulcsfontosságú eleme. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldése