A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.
A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.
A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:
A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.
●Hőmérséklet stabilitás
●Ultra magas tisztaságú
●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si
●Hőanyaggal szembeni ellenállás
●Erős tapadás a grafithoz
●Konform bevonat lefedettség
● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)
● Induktív fűtési szuszceptor
● Ellenállásos fűtőelem
● Hővédő pajzs
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
Elem | Atom százalék | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Átlagos | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
A M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
A VeTek Semiconductor egy vezető tantál-karbid bevonatú cső a kristálynövekedéshez Kínában. Sok éve foglalkozunk kerámia bevonattal. Termékeink nagy tisztaságúak és magas hőmérséklet-állósággal rendelkeznek. Várjuk, hogy az Ön hosszú távú partnerévé váljunk. Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy nagyméretű TaC bevonatú gyűrű a SiC epitaxiális reaktorok gyártója és újítója számára Kínában. Sok éve szakosodunk a TaC bevonatokra. Termékeink nagy tisztaságúak, nagy stabilitásúak, kiváló korrózióállósággal és nagy kötési szilárdsággal rendelkeznek. előre, hogy hosszú távú partnere lehessen Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy nagyméretű, tantál-karbid bevonatú félhold alkatrész az LPE gyártók és újítók számára Kínában. Sok éve a TaC bevonatokra specializálódtunk. Termékeink ellenállnak a 2000 Celsius fok feletti hőmérsékletnek, meghosszabbítják a fogyóeszközök élettartamát. hogy hosszú távú partnere legyen Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú vezetőgyűrű gyártó és innovátor Kínában. Sok éve foglalkozunk kerámia bevonattal. A TaC bevonatú vezetőgyűrűt elsősorban a légáramlás irányítására és szabályozására használják, növelve az egykristálynövekedés hozamát. Üdvözöljük, keressen minket további információkért.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a vezető tantál-karbid bevonatú bolygókerekes forgótárcsák gyártója és újítója Kínában. Sok éve foglalkozunk kerámia bevonattal. Termékeink nagy tisztaságúak és magas hőmérséklet-állósággal rendelkeznek. Várjuk, hogy az Ön hosszú távú partnere lehessünk Kína.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú grafit ostya hordozó gyártó és innovátor Kínában. Sok éve foglalkozunk SiC és TaC bevonattal. TaC bevonatú grafit lapkahordozónk magasabb hőmérséklet- és kopásállósággal rendelkezik. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése