A VeTek Semiconductor ultratiszta szilícium-karbid bevonat termékek gyártására specializálódott, ezeket a bevonatokat tisztított grafiton, kerámián és tűzálló fém alkatrészeken való felhordásra tervezték.
Nagy tisztaságú bevonataink elsősorban a félvezető- és elektronikai iparban való használatra készültek. Védőrétegként szolgálnak az ostyahordozók, szuszceptorok és fűtőelemek számára, megóvva őket a korrozív és reaktív környezetektől, amelyek olyan folyamatokban fordulnak elő, mint a MOCVD és az EPI. Ezek a folyamatok az ostyafeldolgozás és az eszközgyártás szerves részét képezik. Ezenkívül bevonataink jól alkalmazhatók vákuumkemencékben és mintamelegítésben, ahol nagy vákuum, reaktív és oxigén környezettel találkozhatunk.
A VeTek Semiconductornál átfogó megoldást kínálunk fejlett gépműhelyi képességeinkkel. Ez lehetővé teszi számunkra, hogy az alapelemeket grafitból, kerámiából vagy tűzálló fémekből állítsuk elő, és házon belül vigyük fel a SiC vagy TaC kerámiabevonatokat. Az ügyfelek által szállított alkatrészekhez bevonási szolgáltatásokat is nyújtunk, biztosítva a rugalmasságot a különféle igények kielégítésére.
Szilícium-karbid bevonat termékeinket széles körben használják Si-epitaxiában, SiC-epitaxiában, MOCVD-rendszerben, RTP/RTA-folyamatban, maratási folyamatban, ICP/PSS-maratási folyamatban, különféle LED-típusok folyamatában, beleértve a kék és zöld LED-eket, az UV LED-eket és a mély-UV-t. LED stb., amely az LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI és így tovább berendezésekhez van igazítva.
A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Kristályszerkezet | FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált |
Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
Keménység | 2500 Vickers keménység (500 g terhelés) |
szemcseméret | 2~10μm |
Kémiai tisztaság | 99,99995% |
Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
Hajlító szilárdság | 415 MPa RT 4 pontos |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
Hővezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
A VeTek Semiconductor a CVD SiC Coating és a TAC Coating vezető gyártója, megújítója és vezetője Kínában. Hosszú évek óta foglalkozunk különféle CVD SiC bevonat termékekkel, mint például CVD SiC bevonatú szoknya, CVD SiC bevonatgyűrű, CVD SiC bevonathordozó stb. A VeTek Semiconductor támogatja a személyre szabott termékszolgáltatásokat és a kielégítő termékárakat, és várja további konzultációt.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor vezető kínai félvezető-termékgyártóként és -vezetőként a különféle típusú szuceptor termékekre összpontosít, mint például az UV LED Epi Susceptor, Deep-UV LED Epitaxial Susceptor, SiC Coating Susceptor, MOCVD Susceptor stb. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára, és őszintén várjuk, hogy partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Vetek Semiconductor CVD SiC bevonat terelőlemezét főként a Si Epitaxiában használják. Általában szilícium hosszabbító hordókhoz használják. Egyesíti a CVD SiC Coating Baffle egyedülálló magas hőmérsékletét és stabilitását, ami nagymértékben javítja a légáramlás egyenletes eloszlását a félvezetőgyártás során. Hiszünk abban, hogy termékeink fejlett technológiát és kiváló minőségű termékmegoldásokat kínálnak Önnek.
Olvass továbbKérdés küldéseA Vetek Semiconductor CVD SiC grafithengere kulcsfontosságú a félvezető berendezésekben, védőpajzsként szolgál a reaktorokban, hogy megóvja a belső alkatrészeket magas hőmérsékleten és nyomáson. Hatékonyan véd a vegyszerek és az extrém hőhatások ellen, megőrzi a berendezés épségét. Kivételes kopás- és korrózióállóságával hosszú élettartamot és stabilitást biztosít kihívásokkal teli környezetben. Ezeknek a burkolatoknak a használata javítja a félvezető eszközök teljesítményét, meghosszabbítja az élettartamot, valamint mérsékli a karbantartási igényeket és a károsodási kockázatokat.
Olvass továbbKérdés küldéseA Vetek Semiconductor CVD SiC bevonatfúvókái az LPE SiC epitaxiás eljárásban használt kulcsfontosságú komponensek a félvezetőgyártás során a szilícium-karbid anyagok felhordására. Ezek a fúvókák jellemzően magas hőmérsékletű és kémiailag stabil szilícium-karbid anyagból készülnek, hogy biztosítsák a stabilitást kemény feldolgozási környezetben. Az egyenletes felhordásra tervezték, kulcsszerepet játszanak a félvezető alkalmazásokban termesztett epitaxiális rétegek minőségének és egyenletességének ellenőrzésében. Várjuk, hogy hosszú távú együttműködést alakítsunk ki Önnel.
Olvass továbbKérdés küldéseA Vetek Semiconductor CVD SiC bevonatvédőt biztosít. A használt LPE SiC epitaxia. Az "LPE" kifejezés általában az alacsony nyomású kémiai gőzleválasztásban (LPCVD) alacsony nyomású epitaxiára (LPE) utal. A félvezetőgyártásban az LPE fontos folyamattechnológia az egykristály vékonyrétegek termesztésére, amelyet gyakran szilícium epitaxiális rétegek vagy más félvezető epitaxiális rétegek növesztésére használnak. További kérdéseivel forduljon hozzánk bizalommal.
Olvass továbbKérdés küldése